简介： 本实用新型公开的磁电天线的层合结构，包括Si衬底，Si衬底上依次连接有Mo电极层、AIN压电层和FeGa磁致伸缩层，Si衬底与Mo电极层接触面之间开有空气槽。本实用新型采用2‑2层叠型磁电复合材料较其他结构类型具有低漏电、易合成、磁电耦合能力强的优点；本实用新型采用空气隙型FBAR作为谐振结构，机械牢度更好，制备时更易达到精度要求。