单晶炉用高寿命石墨三瓣埚
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单晶炉用高寿命石墨三瓣埚
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简介: 一种单晶炉用高寿命石墨三瓣埚,包括石墨三瓣埚、连接板、连接件,石墨三瓣埚包括第一瓣埚、第二瓣埚、第三瓣埚,连接板包括第一连接板、第二连接板、第三连接板,连接件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件,通过采用第一连接板、第二连接板、第三连接板对石墨三瓣埚进行固定,提高石墨三瓣埚整体结构的强度,彻底解决石墨三瓣埚易损坏、开裂的现象,提高石墨三瓣埚的使用寿命,降低生产成本;保护了R角,减少漏硅的风险,减少安全事故,提高石墨三瓣埚的利用率;降低石墨三瓣埚的损害对设备的影响;且第一连接板、第二连接板、第三连接板为碳碳复合材料,在高温下不容易挥发,更好的保护了R角处的温度,使石墨三瓣埚的R角不易损坏。
一种单晶炉用高寿命石墨三瓣埚,包括石墨三瓣埚、连接板、连接件,石墨三瓣埚包括第一瓣埚、第二瓣埚、第三瓣埚,连接板包括第一连接板、第二连接板、第三连接板,连接件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件,通过采用第一连接板、第二连接板、第三连接板对石墨三瓣埚进行固定,提高石墨三瓣埚整体结构的强度,彻底解决石墨三瓣埚易损坏、开裂的现象,提高石墨三瓣埚的使用寿命,降低生产成本;保护了R角,减少漏硅的风险,减少安全事故,提高石墨三瓣埚的利用率;降低石墨三瓣埚的损害对设备的影响;且第一连接板、第二连接板、第三连接板为碳碳复合材料,在高温下不容易挥发,更好的保护了R角处的温度,使石墨三瓣埚的R角不易损坏。
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标签:复合材料
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