包含耐溅射材料的极端紫外线辐射反射元件
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包含耐溅射材料的极端紫外线辐射反射元件
来源：北方有色网
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简介：
本发明涉及改进的EUV反射元件,包括:a)第一层,基本上由高反射性材料制成;b)第二层,厚度≤5nm,基本上由耐溅射性≤10nm/108次射击的材料制成,并且由此第二层被设置在入射的和/或反射的EUV光的路径中。
本发明涉及改进的EUV反射元件,包括:a)第一层,基本上由高反射性材料制成;b)第二层,厚度≤5nm,基本上由耐溅射性≤10nm/108次射击的材料制成,并且由此第二层被设置在入射的和/或反射的EUV光的路径中。
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标签：复合材料
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