简介： 本发明涉及金刚石复合材料技术领域，尤其是涉及一种金刚石复合薄膜及其制备方法和应用。所述金刚石复合薄膜，包括金刚石和依次沉积在金刚石表面的钛层、钼层和镍层。所述制备方法，包括如下步骤：在金刚石表面依次沉积形成钛层、钼层和镍层，即得所述金刚石复合薄膜。本发明通过在金刚石表面沉积钛层、钼层和镍层，在金刚石表面形成钛钼镍金属化结构体系，提高金刚石复合薄膜的抗拉强度同时赋予金刚石良好的焊接高强和气密性能，满足作为窗口材料的高强度、低损耗、气密焊接性能好等技术要求，可用于大功率电真空器件的输出窗。