独立式高温超导薄膜的制备方法
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独立式高温超导薄膜的制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种独立式高温超导薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:(1)取衬底,在衬底上采用Sr3Al2O6陶瓷靶材沉积牺牲层,所述牺牲层的材质为Sr3Al2O6;(2)采用GdBa2Cu3O7陶瓷靶材继续在牺牲层上沉积高温超导薄膜,得到衬底/SAO/GBCO复合结构,所述高温超导薄膜的材质为GdBa2Cu3O7‑x;(3)沉积完成后,将步骤(2)得到的衬底/SAO/GBCO复合结构置于纯氧中进行吸氧处理,使高温超导薄膜充分吸氧;(4)吸氧完成后,取出衬底/SAO/GBCO复合结构浸入水中,待牺牲层溶解后高温超导薄膜从衬底上释放,即得到独立式高温超导薄膜。与现有技术相比,本发明制得的高温超导薄膜不仅为独立式且结构良好,有机会结合到各种复合材料结构中,拓展了应用范围,降低了应用成本。
本发明涉及一种独立式高温超导薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:(1)取衬底,在衬底上采用Sr3Al2O6陶瓷靶材沉积牺牲层,所述牺牲层的材质为Sr3Al2O6;(2)采用GdBa2Cu3O7陶瓷靶材继续在牺牲层上沉积高温超导薄膜,得到衬底/SAO/GBCO复合结构,所述高温超导薄膜的材质为GdBa2Cu3O7‑x;(3)沉积完成后,将步骤(2)得到的衬底/SAO/GBCO复合结构置于纯氧中进行吸氧处理,使高温超导薄膜充分吸氧;(4)吸氧完成后,取出衬底/SAO/GBCO复合结构浸入水中,待牺牲层溶解后高温超导薄膜从衬底上释放,即得到独立式高温超导薄膜。与现有技术相比,本发明制得的高温超导薄膜不仅为独立式且结构良好,有机会结合到各种复合材料结构中,拓展了应用范围,降低了应用成本。
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标签:复合材料
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