简介： 本发明公开了一种空心二氧化硅球形颗粒及其制备方法和应用，空心二氧化硅球形颗粒，其是以单壁空心二氧化硅球形颗粒为核体，至少一层二氧化硅为壳体。制备方法包括以下步骤：采用模板法制备单壁空心二氧化硅球形颗粒；采用溶胶凝胶法在单壁空心二氧化硅球形颗粒表面至少一次包覆二氧化硅制备得到空心二氧化硅球形颗粒。本发明多壁空心二氧化硅球形颗粒具有较高的结构强度和表面致密性，并且其介电常数，介电损耗，CTE等都很低，可作为填料颗粒应用于低介电低损耗的复合材料中，继而应用于印刷线路板、基板、载板等半导体及电子封装系统中，实现精细电子线路的制造，以满足高端电子封装系统发展的需要。