宽域型氧传感器片芯及其制造方法
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宽域型氧传感器片芯及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种宽域型氧传感器片芯及其制造方法。其片芯依次为它由多孔陶瓷保护层(1),泵电池上电极(2),泵电池介质层(3),泵电池参考电极(4),参考电池介质层(5),参考电池电极层(6),参考气室层(7),梯度连接层(8),上基板层(9),加热电路层(10)和下基板层(11)依次相叠构成;梯度连接层(8)采用梯度复合材料过渡技术,有效地解决了异质材料间的结合问题;泵电池介质层上有一扩散孔及上下相对应的环形电极;参考电池介质层上有一扩散小腔,扩散小腔内采用多孔陶瓷填料支撑技术,确保了腔体的形成和信号的灵敏度;各层采用流延成型和丝网印刷相结合方式,依次定位、叠压和切割,制成氧传感器片芯胚体,烧结制成致密的氧传感器片芯。
本发明公开了一种宽域型氧传感器片芯及其制造方法。其片芯依次为它由多孔陶瓷保护层(1),泵电池上电极(2),泵电池介质层(3),泵电池参考电极(4),参考电池介质层(5),参考电池电极层(6),参考气室层(7),梯度连接层(8),上基板层(9),加热电路层(10)和下基板层(11)依次相叠构成;梯度连接层(8)采用梯度复合材料过渡技术,有效地解决了异质材料间的结合问题;泵电池介质层上有一扩散孔及上下相对应的环形电极;参考电池介质层上有一扩散小腔,扩散小腔内采用多孔陶瓷填料支撑技术,确保了腔体的形成和信号的灵敏度;各层采用流延成型和丝网印刷相结合方式,依次定位、叠压和切割,制成氧传感器片芯胚体,烧结制成致密的氧传感器片芯。
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标签:复合材料
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