简介： 本发明是有关于一种具氮化铝薄膜的热扩散元件及其制作方法，包含：一基板，基板的组成可为单一材质、多层结构、或复合材料；及一氮化铝薄膜，其设于该基板的表面，该氮化铝薄膜的厚度是介于1nm至10μm之间，而该氮化铝薄膜是作为热传输媒介；尤指将置于其上的发热元件所产生的热传输至基板，再经由基板将热传至散热鳍片。