简介： 本发明公开了一种基于低维碲网络的电容式压力传感器及其制造方法，属于柔性压力传感器领域，包括从上到下依次设置的第一电极层、低维碲介电敏感层、第二电极层，第一电极层和第二电极层通过激光直写等微纳加工制备获得，低维碲介电敏感层通过制造二维碲纳米片和一维碲纳米线的混合粉末，并将此粉末和聚合物弹性体混合制备得到介电弹性薄膜，由于碲具有高介电常数和低导电性，这使得低维碲填充聚合物复合材料具有较高介电常数和较低的介电损耗。此外，一维和二维碲构成多结构混合网络，当外力施加在传感器表面时，除了介电敏感层的厚度变化，随着低维碲网络的变化，介电常数也随之变化，这显著增加了传感器的灵敏度景。