简介： 本发明公开了一种异质微纳米结构的制备方法，包括以下步骤：根据平衡态相图选取在低温下可以存在多个相的母合金；把所述母合金与表面具有微纳米孔洞的模具叠成三明治结构；将所述三明治结构加热到单相温度区间，并在该温度下保持一定时间；施加荷载将加热的三明治结构加载到一定的载荷，使得合金材料流入模具的微纳米孔洞中；对所述三明治结构进行时效处理；去除所述退火的三明治结构中的模具以获得表面复制有微纳米结构的合金。本发明能制备出金属‑半导体异质结纳米结构、多相微纳米复合材料以及平衡态相图所预测不能出现的单相的合金纳米结构，制备工艺简单，具有广泛的应用前景。