简介： 一种用于修整CMP垫的研磨工具包括通过金属粘结剂联接到基底上的磨料颗粒以及一个涂层，例如一个氟掺杂的纳米复合材料涂层。这些磨料颗粒可以按一种自避免式随机分布来排列。在一种实现方式中，一种研磨工具包括一个涂覆的板以及一个涂覆的磨料物品，该物品具有两个研磨表面。其他的实现方式涉及一种用于生产研磨工具的方法，该研磨工具包括在其一个或多个表面上的涂层。在此还描述了用于整修CMP垫的方法。