简介： 本发明提出的多功能柔性传感器及其制备方法，属于柔性触觉传感器领域。为精细量化受力，提高传感器阵列密度，传感器设计为16个检测单元，呈4×4阵列排布。为提高传感器灵敏度，采用具有微纳结构的CNT/PDMS纳米复合材料作为介电层。传感器采用电容型结构，通过感知电容变化检测受力变化；传感器采用PEDOT:PSS‑CNT薄膜电极来实现温度的测量，通过检测输出电阻值变化检测温度变化，并且在薄膜电极接入电路后对压力传感器可以起到屏蔽外部场强的作用；传感器上极板A和上极板B作为被测电极，通过在电极两端施加正弦交流电压来获取组织的接触阻抗信息。该触觉传感器兼备压力温度阻抗多物理量检测功能，在生物医学研究和人机交互界面方面具有巨大应用潜力及发展前景。