简介： 本发明公开了一种氧化硅包覆碳纳米管及其制备装置、方法与应用，该制备装置包括等离子体处理装置及化学反应装置，两套装置共用回旋样品仓，该制备方法，包括如下步骤：首先，将碳纳米管松装入回旋样品仓腔体并占据腔体体积1/3～2/3，组装等离子体处理装置，对碳纳米管进行等离子体活化处理；然后，移除等离子发生器，更换炉头，组装化学反应装置，对碳纳米管进行表面包覆处理，正硅酸乙酯分解为无定形氧化硅，均匀沉积在碳纳米管表面。本发明能够实现氧化硅包覆碳纳米管的工业化生产需求与应用，且所制备的氧化硅包覆碳纳米管表面均匀包覆氧化硅层，能极好的解决碳纳米管与氟硅橡胶的相亲性问题以及碳纳米管在复合材料中的分散问题。