简介： 本发明一种透明导电氧化物薄膜及其制备方法，加热温度低，操作简单，成本低廉，易于实现。所述的方法是在柔性绝缘衬底上制备透明导电氧化物薄膜时或已经制备得到透明导电氧化物薄膜后，将厚度为纳米级到毫米级的TCO膜或其预制膜置在电磁辐射中进行处理以提高电导和/或透光性能。本发明利用电磁辐射加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法通过电磁辐射选择性加热TCO薄膜(合金膜或导电氧化物薄膜)。利用电磁辐射辐射的高频变化的电磁场诱导导电薄膜中的电子随电磁场高频运动，从而使导电薄膜本身瞬间发热。而作为基片的复合材料，不导电，不会被显著加热。从而能够在低温下对不耐高温的衬底材料上的TCO薄膜进行热处理。