简介： 本发明公开了一种高介电常数二氧化锆纳米晶体/聚酰亚胺复合薄膜及其制备方法，涉及高介电常数复合材料以及旋涂制备优质薄膜技术领域。该方法通过制备的二氧化锆纳米晶体与聚酰胺酸的前体溶液，采用具有普适性的溶液成膜技术将该前体溶液在基片上制备成膜，最后经过热亚胺化处理得到高介电常数二氧化锆纳米晶体/聚酰亚胺复合薄膜。本发明利用简单溶液法制备高质量的高介电常数二氧化锆纳米晶体/聚酰亚胺复合薄膜，大大简化了制备工艺，节约了制备成本，制备得到的高介电常数复合薄膜具有较高的介电常数和较好的表面平整度。