简介： 本发明的轴端部安装结构是用于将与载置晶片的陶瓷板(12)一体化了的中空陶瓷轴(20)的端部气密地安装于在腔室(100)的底板(102)上设置的贯通孔(104)周边的结构。在中空陶瓷轴(20)的端面，介由金属层(28)气密地接合有金属材料制或金属‑陶瓷复合材料制的环构件(26)。螺栓(32)在环构件(26)介由金属密封件(30)载置于贯通孔(104)周边的状态下贯通底板(102)和金属密封件(30)，将环构件(26)拉向底板(102)并进行紧固。