简介： 本发明提供了超高温抗氧化耐烧蚀涂层及其制备方法，涉及化学气相沉积技术领域。本发明提供超高温抗氧化耐烧蚀涂层，包括由金属Ta涂层与(Ta,Hf)C复相涂层交替叠加而成的Ta/(Ta,Hf)C多层多相复合涂层。还提供超高温抗氧化耐烧蚀涂层制备方法，步骤如下：S01，提供预处理基体材料；S02，在基体材料表面制备(Ta,Hf)C复相涂层，在(Ta,Hf)C复相涂层表面制备金属Ta过渡涂层，交替沉积多次，最后以(Ta,Hf)C复相涂层结束沉积，制备出Ta/(Ta,Hf)C多层多相复合涂层。适用于制备石墨、C/C复合材料等基体内孔表面的超高温防护涂层，提高基体材料内孔工作表面抗氧化、抗烧蚀、抗热冲击。