输电塔超声波防冻装置
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输电塔超声波防冻装置
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种输电塔超声波防冻装置,包括风力发电机组、湿度传感器、单片机控制开关、超声波雾化器;风力发电机组通过单片机控制开关与超声波雾化器电气连接,湿度传感器与单片机控制开关电气连接;所述的湿度传感器基于氧化锆复合材料,该湿度传感器为电阻式,包括硅片衬底,在硅片衬底上设有WO3薄膜,WO3薄膜之上设有插指电极,该插指电极是通过IC工艺流程中lift‑off技术实现的,并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜,在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜。
本发明涉及一种输电塔超声波防冻装置,包括风力发电机组、湿度
传感器
、单片机控制开关、超声波雾化器;风力发电机组通过单片机控制开关与超声波雾化器电气连接,湿度传感器与单片机控制开关电气连接;所述的湿度传感器基于氧化锆
复合材料
,该湿度传感器为电阻式,包括硅片衬底,在硅片衬底上设有WO3薄膜,WO3薄膜之上设有插指电极,该插指电极是通过IC工艺流程中lift‑off技术实现的,并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜,在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜。
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