简介： 本发明提供一种流体辅助超快激光加工锥度可调微孔的方法，包括以下具体步骤：将工件固定于超精密平台上，激光加工前，使用清洗液体、干燥气体完成工件清洗及干燥；根据工件的首层组成材料厚度及微孔锥度要求选择加工用激光束以扫描方式加工首层材料的微孔，同时根据材料成分选定加工时采用的辅助流体；首层材料微孔加工完成后，清洗并干燥加工区域，再由超快激光加工系统下移激光聚焦平面至下一层材料表面进行微孔加工，同时采用流体辅助加工过程，进而完成加工得到成品。本发明根据材料厚度及微孔加工锥度要求选择相应的超快激光扫描方式，并结合材料成分配以流体辅助加工，可大幅提高复合材料的微孔加工锥度可控性及微孔深径比。