封装的复合背板
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封装的复合背板
来源：北方有色网
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简介： 公开了一种用于与溅镀靶材一起使用的背板，其包括：由复合材料形成的芯部件；以及由金属或金属合金形成的外层，其中所述外层完全环绕并覆盖所述芯部件。还公开一种用于循环利用这种背板的方法。
公开了一种用于与溅镀靶材一起使用的背板，其包括：由复合材料形成的芯部件；以及由金属或金属合金形成的外层，其中所述外层完全环绕并覆盖所述芯部件。还公开一种用于循环利用这种背板的方法。
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标签：复合材料
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