简介： 本发明属于表面热防护技术领域，具体为一种抗超高温氧化ZrC/TaC微叠层涂层的制备方法，该方法利用反应磁控溅射制备ZrC/TaC微叠层涂层，适用于碳/碳复合材料的超高温防护。采用多靶磁控溅射涂层设备，金属Zr靶、Ta靶和非金属C靶分别由独立的直流电源控制，以氩气作为溅射气体和载气，通过反应溅射制备ZrC/TaC微叠涂层，多层的微叠层结构通过基体在Zr靶、C靶和Ta靶、C靶前交替沉积形成，通过调节靶功率和沉积时间控制各亚层的厚度。该涂层的结构特点可有效减小1600～1800℃区间的热应力，阻止涂层发生开裂和剥落。本发明工艺和操作方法简便，便于工业化生产。