磁控溅射制备ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料的方法
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磁控溅射制备ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料的方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种磁控溅射制备ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料的方法,在密闭环境中,分别以Fe和ZnO作为靶材,将密闭环境抽真空处理,在密闭环境气压降至2×10‑4Pa时,向密闭环境中通入氩气作为溅射气体;控制密闭环境的气压为0.15Pa~0.2Pa,Fe靶材通过直流溅射源进行溅射,ZnO靶材通过射频溅射源进行溅射,对Fe靶材和ZnO靶材同时进行磁控溅射,溅射完成后,取出产物并放置在马沸炉中高温退火处理,得到ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料。本发明制备得到的材料具有异质结的三维复合纳米结构,有效的提升了反应表面积和复合材料的光电催化性能,能广泛应用于光催化氧化还原领域。
本发明涉及一种磁控溅射制备ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料的方法,在密闭环境中,分别以Fe和ZnO作为靶材,将密闭环境抽真空处理,在密闭环境气压降至2×10‑4Pa时,向密闭环境中通入氩气作为溅射气体;控制密闭环境的气压为0.15Pa~0.2Pa,Fe靶材通过直流溅射源进行溅射,ZnO靶材通过射频溅射源进行溅射,对Fe靶材和ZnO靶材同时进行磁控溅射,溅射完成后,取出产物并放置在马沸炉中高温退火处理,得到ZnFe2O4/Fe2O3三维异质结纳米材料。本发明制备得到的材料具有异质结的三维复合纳米结构,有效的提升了反应表面积和复合材料的光电催化性能,能广泛应用于光催化氧化还原领域。
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标签:复合材料
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