简介： 本发明提供一种制品，由硅氧化物和导电的掺杂的硅材料制成，两者在保护性的环境中结合以形成SiOX : Si材料的复合物，该复合物呈现出SiOX的特性，还由于Si的存在而具导电性。由这种复合材料制成的制品有很多用途，例如作为直流或交流溅射过程中用于生产硅氧化物薄膜的靶材，用于触摸屏，LCD显示屏的格栅薄膜和用在很多领域的光学薄膜。