简介： 本发明提供一种薄膜晶体管器件及其制作方法。薄膜晶体管器件包括基板以及位于所述基板上的薄膜晶体管单元层；其中薄膜晶体管单元层包括栅极层、有源层、源漏极金属层以及纳米光敏增益层。本发明通过将纳米技术应用在薄膜晶体管器件中，由于纳米材料独特的尺寸效应，可极大程度的增强器件性能。并进一步将纳米光敏增益层通过所述金属氧化物纳米颗粒在模板剂作用下发生自组装形成介孔结构，具有规则形貌的金属氧化物膜层因其独特的尺寸效应，对光电性能具有进一步提升。并进一步在纳米光敏增益层中掺杂贵金属纳米颗粒形成复合材料膜层，在光照条件下，因为贵金属的共振作用，将会进一步对薄膜晶体管器件进行增益，可进一步提高响应性能。