带连通孔的金刚石复合片及其制造方法
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带连通孔的金刚石复合片及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及复合材料技术领域,尤指一种带连通孔的金刚石复合片及其制造方法,首先通过在基片上制作贯穿其上表面及下表面的通孔,以形成带孔基片;在带孔基片的上表面、下表面及其通孔内分别沉积生长金刚石膜,最后获得金刚石复合片。本发明提供一种高硬度、高导热率、高绝缘电阻、低介电常数、高化学稳定性的复合片,在很多场合可以作为多晶金刚石自支持片的替代材料。
本发明涉及复合材料技术领域,尤指一种带连通孔的金刚石复合片及其制造方法,首先通过在基片上制作贯穿其上表面及下表面的通孔,以形成带孔基片;在带孔基片的上表面、下表面及其通孔内分别沉积生长金刚石膜,最后获得金刚石复合片。本发明提供一种高硬度、高导热率、高绝缘电阻、低介电常数、高化学稳定性的复合片,在很多场合可以作为多晶金刚石自支持片的替代材料。
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标签:复合材料
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