简介： 一种晶圆架，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。支撑件对应设置于支架上，其中支撑件的材质不同于支架的材质，且支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料。本发明提供的晶圆架藉由复合材料的组合同时兼具实用性与保护性。