简介： 本发明在保护性环境中融结二氧化硅和导电的掺杂硅从而生成复合的SiO2 : Si材料，其具有SiO2的特性，而又由于Si的存在而导电。这样的复合材料用作DC和/或AC溅射工艺中的靶材以生产用于触摸屏等应用中的导电二氧化硅薄膜。