简介： 本发明提供一种用于二次电池的硅碳复合负极材料及制备方法、锂电池的制备方法，硅碳复合负极材料为氮、氟掺杂的非晶形石墨和P掺杂硅的复合结构，所述的复合结构从下至上依次为泡沫镍、P型掺杂硅、非晶形石墨、P型掺杂硅、氮氟同时掺杂的非晶形石墨，本发明磁控溅射的硅薄膜非常均匀，膜基结合力强，且P掺杂的硅导电性较纯硅而言导电性更强，等离子体增强的PECVD在制备石墨方面性能稳定，石墨薄膜较为均匀，黏着性高，制备的电池循环稳定性强，氟化和氮化的石墨导电能力、电解液浸润性进一步提升，硅的容量高，两者的优点相结合，制备的硅碳复合材料负极应用在二次电池上容量高，循环稳定性强。