简介： 本发明涉及一种新型的复合金属诱导制备以及催化处理石墨烯获得石墨烯网格结构，利用该网格结构制备石墨烯晶体管，属于纳米材料微电子领域。其技术特征在于：采用复合金属薄膜，利用化学气相沉积法生长石墨烯，石墨烯层数为1-20，采用小孔模板衍射辅助氧化钛光催化方法，获得石墨烯网格结构，利用该网格结构作为沟道层，制备石墨烯场效应管晶体管。本发明工艺简单，过程易控制，导电性能优异，制备成本低，适合于低维复合材料及微纳电子领域。