简介： 本发明公开了一种太阳能电池用减反射材料及其制备方法。该减反射材料为氧化铒-氧化铝(Er2O3-Al2O3)复合材料,其中Al2O3的含量为20～30%,此减反射材料是稳定的非晶复合氧化物材料。采用射频磁控溅射制备,溅射靶为Er2O3和Al2O3混合陶瓷靶,在P型Si(100)衬底上制备得到ErAlO非晶减反射氧化物薄膜。本发明的太阳能电池用减反射材料有可调节的折射率,优良的减反射效果,和良好热稳定性、光学特性。