简介： 本发明公开了一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，包括底板、弹性体、硅基MEMES压力传感器单元、磁体、磁感应线圈阵列；弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于底板；磁体设置于弹性体中。使用硅基MEMS测压单元，无导电复合材料的电阻蠕变和电容式测压单元寄生电容的影响，精度高、稳定性良好；磁感应线圈阵列通过电磁感应产生电信号检测切向力的方向和大小，精度高，响应快，适合于动态力测量和滑动状态的检测。