简介： 二氧化钛基有机-无机复合薄膜的制备及采用该薄膜制备微光器件的方法,通过改进的溶胶-凝胶技术结合低温有机-无机复合技术引入了有机光敏功能基团以实现具有光敏特性同时集光波导特性于一身的有机-无机复合光电子材料。并基于该类复合材料的紫外光敏特性结合掩模技术、热熔回流技术和压印技术进行低成本的脊型光波导器件和微透镜阵列的制作。特别是本发明是基于在低温下具有数微米厚、折射率可调和紫外光敏特性的单层光学质量波导薄膜,所以非常利于光电子器件的集成化和低成本制作。