简介： 本发明设计了一套高速高精度的超声显微扫查装置，适用于电子封装、复合材料及医学应用的超声检测领域。本装置的扫查定位精度为0.1μm，采用中心频率为50MHz以上的高频聚焦换能器，采样频率为4GHz的高频数据采集卡，以及通频带为1-500MHz的脉冲收发仪，使用高效率的编码器硬件触发和DMA存储，扫查理论分辨率可达3μm，扫查速度可达1.5m/s。本装置配套有自行研制的超声显微扫查软件，可进行超声C成像、B成像，提供跟踪闸门功能，并集成全波数据采集和数据后处理模块。