简介： 一种氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘，其构成是 在盘基础上依次镀有第二保护层、氧化铂掩膜层和第一保护 层，所述的第一保护层和第二保护层均是由硫化锌∶二氧化硅 ＝80∶20的复合材料构成的薄膜层；所述的氧化铂中的含 O2量由溅射过程中 O2/(O2+Ar)的分压比例决定，分压比的取值范围为0.1～0.4。所 述的氧化铂掩膜层是由厚度为15－80nm的纳米氧化铂薄膜 层。本发明氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘具有稳定性好、信 噪比更高和更好的读出循环性。