半导体结构与用以制造其的方法
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半导体结构与用以制造其的方法
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简介： 本发明提供一种半导体结构与用以制造其的方法。半导体结构包含源极线结构。源极线结构包含形成于沟道中的复合材料。复合材料包含氧化物部与金属部。
本发明提供一种半导体结构与用以制造其的方法。半导体结构包含源极线结构。源极线结构包含形成于沟道中的复合材料。复合材料包含氧化物部与金属部。
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标签：复合材料
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