简介： 本发明公开了一种激光烧蚀靶材及其制备方法，上述激光烧蚀靶材，依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成，各层之间涂有粘合剂。本发明还提供了上述激光烧蚀靶材的制备方法。本发明的操作工艺简单方便，可以通过该方法生产不同组成厚度、不同宽度的激光烧蚀靶材。