简介： 基板载置用托盘，可以包括：主体、引导部等。所述主体可以具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且可以由碳-碳复合材料构成。所述引导部，可以引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的位置。在太阳能电池基板上形成薄膜时，所述基板载置用托盘可以实施为，在等离子氛围下的高温工序中也可以稳定地维持物理特性，并且可以形成为载置更多数量的基板的大面积。