简介： 本发明涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法,采用复合材料作为研磨、抛光的工具磨盘,将其加热至适当的温度,然后作高速旋转运动;以一定压力将待加工金刚石膜/块压向磨盘表面,使其与磨盘表面发生高速摩擦,通过摩擦区的化学-机械复合循环作用,实现金刚石表面的高效研磨与抛光。该方法为化学-机械复合方式,研磨过程包括催化表层石墨化过程,机械刮除石墨层过程。在化学作用与机械作用的复合循环过程中,实现高效去除金刚石表面材料。所涉及的装置,集成了加热、加载功能,使用复合磨盘作为工具盘,其有益效果在于加工效率高,机械作用力小,加工质量好。本发明还涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光装置。