简介： 一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法，包括以下步骤：一种由固体吸附材料负载离子液体的复合材料，是将固体吸附材料作为支撑载体，将其与离子液体或者有机溶剂按比例混合均匀，进行研磨；所得混合物进行真空加热干燥，得到以多孔材料为支撑载体的复合材料；所得复合吸附材料填充于吸附柱中，在高纯氮气下，将一定温度、压力的氯硅烷通入吸附柱；吸附柱出口收集处理后的氯硅烷，得到提纯后的氯硅烷；复合吸附材料在一定温度、压力下进行气体吹扫，进行脱附回收。本发明的硼、磷微量杂质吸附剂实现了氯硅烷体系中存在的微量硼、磷杂质的高效吸附；不经过高温处理，能耗低，工艺简单；吸附剂循环利用，生产过程中废物排放少，避免了环境污染。