简介： 本发明涉及一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料的方法,它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料,该软磁材料由铁系软磁材料和陶瓷材料组成,其结构可以为一层铁系软磁材料层,一层陶瓷材料层,或一层铁系软磁材料层,一层铁系软磁材料层+陶瓷材料层的纳米颗粒复合单层膜。通过控制各层的晶粒度、单轴各向异性以及层间距,可以获得高饱和磁化强度及高电阻率的纳米级复合多层软磁材料。本发明制备的纳米混合层复合材料适用于高频交变磁场下工作的各种电子器件及其它用途的薄膜与涂层。