简介： 本发明的成膜装置利用在等离子体流中元素比进行随时间变动的现象，控制复合膜的组成比。该成膜装置使用混合有多种原料的复合材料，使包含所述多种原料中的多种元素的膜成膜于对象物，该成膜装置具有：放电部，其对复合材料产生电弧放电，使多种元素处于等离子体状态，使其放出；和控制部，其根据朝向对象物的等离子体流中存在的多种元素的组成比，控制到达对象物的等离子体流的量。