简介： 本发明属于半导体领域所应用的加热保温材料技术领域，具体涉及一种智能温控加热保温材料及其温控系统，所述智能温控加热保温材料包括形状记忆合金层、隔热复合材料层以及绝缘外套，所述记忆合金层和隔热复合材料层中间设置温度传感器，在温控系统的控制下，传感器将检测到的温度传递给控制器，控制器将检测温度与设定温度进行比对，从而通过调整驱动电路电流的方向和大小来使热电制冷器对智能温控加热保温材料进行加热或者制冷，达到对工艺管路的温度控制，本发明将加热带和保温套制成一体结构，既能提高人力物力的利用率，同时还能使反应工艺正常进行，保证薄膜产品的质量，结构简单、合理、易于在半导体薄膜沉积应用及制备技术领域推广。