简介： 本发明公开了一种原子力显微镜探针及其制备方法，所述探针为圆锥体结构，且所述探针由复合材料制得，所述复合材料的原料组分及各组分的质量份如下：对紫外光敏感的聚合物：80份~90份；金颗粒：5份~10份；镍颗粒：5份~10份。本发明提供的一种原子力显微镜探针及其制备方法，既可以增加探针韧性，又可以保证其硬度，从而延长探针寿命。同时该探针具有高深宽比，可以探测相应的高深宽比沟槽。