简介： 本发明轻质高刚度XY工作台及键合头提供了一种适用于金属引线键合机的二维工作台及键合头的组合的结构。该结构的二维工作台采用由线性电机驱动的纵横向直线导轨及滑块和竖向垂直上下弧形摆动结构,由横纵方向相互垂直的滑块、导轨和纵向轴间解耦机构及各自的驱动电机组成。键合头采用绕轴摆臂摆动,使摆臂的末端产生纵横和垂直上下弧形综合运动。由于线性电机的直接驱动方式消除了机械误差,改善了系统的动态特性。采用特殊高比刚度铝基碳化硅复合材料加工运动件来达到轻质高刚度的结构。本发明也适于其它具有与引线键合机相似工艺要求的半导体生产设备以及有高速精密三维定位和操作需要的机电设备。