简介:
本发明公开了一种方便去除石英坩埚残体且又保持坩埚圆度的炭素材料组合坩埚的组合方法及组合坩埚,它包括由碳/碳复合材料或石墨材料制备的组合坩埚,其特征是它先制备埚筒(1)、埚碗(3),所述的埚筒(1)为圆筒状,所述的埚碗(3)为2瓣~4瓣,再将埚筒(1)与埚碗(3)组合成整体坩埚,本发明结构简单,操作方便,减轻了工人的劳动强度,能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤,延长了组合坩埚的使用寿命,此外,组合坩埚的圆度好且稳定,拉晶时整棒率和成晶率较高。
本发明公开了一种方便去除石英坩埚残体且又保持坩埚圆度的炭素材料组合坩埚的组合方法及组合坩埚,它包括由碳/碳
复合材料或石墨材料制备的组合坩埚,其特征是它先制备埚筒(1)、埚碗(3),所述的埚筒(1)为圆筒状,所述的埚碗(3)为2瓣~4瓣,再将埚筒(1)与埚碗(3)组合成整体坩埚,本发明结构简单,操作方便,减轻了工人的劳动强度,能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤,延长了组合坩埚的使用寿命,此外,组合坩埚的圆度好且稳定,拉晶时整棒率和成晶率较高。