基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器及其制备方法
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基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器,包括衬底,衬底上喷涂有气敏材料,气敏材料为RGO?SnO2复合材料;衬底以硅片作为基片,基片上表面经过刻蚀形成具有微孔阵列的凹凸面;基片的上表面及下表面均热氧化生长有SiO2绝缘层;气敏材料均匀喷涂在所述基片上表面的SiO2绝缘层上形成气敏薄膜。还公开了该传感器的制备方法 : 制备RGO?SnO2复合材料溶液作为气敏材料;制备衬底:选取硅片作为基片,在其上表面进行刻蚀,形成具有微孔阵列的凹凸面,然后在基片的上、下表面均热氧化生成SiO2绝缘层,清洗吹干后得到衬底;将气敏材料喷涂到衬底上表面的SiO2绝缘层上,形成气敏薄膜。该传感器能在常温下工作,增强对低浓度NO2的响应性能。该制备方法步骤简单、成本较低。
本发明公开了一种基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器,包括衬底,衬底上喷涂有气敏材料,气敏材料为RGO?SnO2复合材料;衬底以硅片作为基片,基片上表面经过刻蚀形成具有微孔阵列的凹凸面;基片的上表面及下表面均热氧化生长有SiO2绝缘层;气敏材料均匀喷涂在所述基片上表面的SiO2绝缘层上形成气敏薄膜。还公开了该传感器的制备方法 : 制备RGO?SnO2复合材料溶液作为气敏材料;制备衬底:选取硅片作为基片,在其上表面进行刻蚀,形成具有微孔阵列的凹凸面,然后在基片的上、下表面均热氧化生成SiO2绝缘层,清洗吹干后得到衬底;将气敏材料喷涂到衬底上表面的SiO2绝缘层上,形成气敏薄膜。该传感器能在常温下工作,增强对低浓度NO2的响应性能。该制备方法步骤简单、成本较低。
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标签:复合材料
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