简介： 本发明涉及一种声表面波ASW器件的制作方 法，为增宽频率调整范围、提高器件温度稳定性而设 计。本发明以AlN/CT切石英复合材料作为声表 面波载体，具有超常的温度稳定性，且工艺简便、实 用，用增加AlN膜厚的方法来调整器件的中心频率 偏差，调频范围大，灵敏度高，调整后的器件频率稳 定。