简介： 本发明公开了一种基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，包括以下步骤：将纳尺度材料悬浊液的液滴滴在设于超声台或光滑基板上的超声针系统上；利用上述超声针系统中的超声物理效应在光滑基板或超声台上形成纳尺度材料的聚集物；将纳尺度材料的聚集物转印至基板或柔性基底上；将高分子聚合物溶液滴到或喷射到纳尺度材料的聚集物的表面，得到纳米混合物液滴；将超声振动板边缘插入纳米混合物液滴，在振动方向上前后移动超声振动板，利用声致流体分子间引力减小效应使得纳米混合物液滴扁平化，形成纳米复合材料膜；在纳米复合材料膜上外接引线，得到气体传感器。本发明提供的气体传感器加工工艺具有简单、绿色环保、适合于批量化生产等优点。