用于重掺硅单晶制造的热系统
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
用于重掺硅单晶制造的热系统
来源:北方有色网
访问:924
简介: 本发明涉及一种用于重掺硅单晶制造的热系统,包括上保温筒、下保温筒、底盘保温层、支撑盖、大盖和导流筒构成,其特征在于,上保温筒、下保温筒和底盘保温层采用新型复合隔热材料;所述复合隔热材料为碳毡和石墨硬毡层叠而成的多层材料,且在其内表面涂覆有一层光亮的钼金属反射层;支撑盖的材料为石墨硬毡;大盖由石墨和石墨硬毡的复合材料制成,其复合材料下层为石墨硬毡,本发明解决了重掺硅单晶拉制过程中由于温度波动而引起的组分过冷和断苞难题,提高了重掺砷单晶轴向电阻率均匀性。
本发明涉及一种用于重掺硅单晶制造的热系统,包括上保温筒、下保温筒、底盘保温层、支撑盖、大盖和导流筒构成,其特征在于,上保温筒、下保温筒和底盘保温层采用新型复合隔热材料;所述复合隔热材料为碳毡和石墨硬毡层叠而成的多层材料,且在其内表面涂覆有一层光亮的钼金属反射层;支撑盖的材料为石墨硬毡;大盖由石墨和石墨硬毡的复合材料制成,其复合材料下层为石墨硬毡,本发明解决了重掺硅单晶拉制过程中由于温度波动而引起的组分过冷和断苞难题,提高了重掺砷单晶轴向电阻率均匀性。
0
0
0
0
0
         
标签:复合材料
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号