镀膜用C/h-BN复合蒸发舟及其制造方法
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
镀膜用C/h-BN复合蒸发舟及其制造方法
来源:北方有色网
访问:885
简介: 本发明涉及真空蒸发镀铝薄膜用蒸发元件及其制作方法,具体涉及一种镀膜用C/h‑BN复合蒸发舟及其制造方法,该复合蒸发舟的舟体由C/h‑BN复合材料制成,所述C/h‑BN复合材料由多层六方氮化硼和石墨发热体自上而下交替叠放并通过热压烧结成一整体,其特征在于:所述舟体表层为带有蒸发槽的六方氮化硼烧结层,所述舟体底层为石墨发热体,该石墨发热体表面至少涂覆一层抗氧化热阻涂层。本发明所述蒸发舟的电阻率相对稳定、发热稳定,避免了因局部发热不均而导致蒸发材料的溅射,提高了镀膜质量。同时由于六方氮化硼烧结层保护了舟体,延长了使用寿命。本发明所使用的抗氧化热阻涂层,大幅度降低了石墨发热体在真空环境下的热辐射热能散失,起到了节约电能的作用。
本发明涉及真空蒸发镀薄膜用蒸发元件及其制作方法,具体涉及一种镀膜用C/h‑BN复合蒸发舟及其制造方法,该复合蒸发舟的舟体由C/h‑BN复合材料制成,所述C/h‑BN复合材料由多层六方氮化硼和石墨发热体自上而下交替叠放并通过热压烧结成一整体,其特征在于:所述舟体表层为带有蒸发槽的六方氮化硼烧结层,所述舟体底层为石墨发热体,该石墨发热体表面至少涂覆一层抗氧化热阻涂层。本发明所述蒸发舟的电阻率相对稳定、发热稳定,避免了因局部发热不均而导致蒸发材料的溅射,提高了镀膜质量。同时由于六方氮化硼烧结层保护了舟体,延长了使用寿命。本发明所使用的抗氧化热阻涂层,大幅度降低了石墨发热体在真空环境下的热辐射热能散失,起到了节约电能的作用。
0
0
0
0
0
         
标签:复合材料
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号